automatic: TIGER®

Halbautomatische Front End RCA Reinigungsanlage

  • Die Anlage ist als Digestorium mit eigenen Abluftstutzen und einstellbaren Drosselklappen ausgebildet.
  • Es können Wafer mit einem Durchmesser bis zu 200 mm in einem Standardcarrier (1×8“) verwendet werden.
  • Verschiedene Carriergrößen werden automatisch erkannt und gehandelt.
  • Bei einem Wechsel der Carriergrößen ist kein Umrüsten erforderlich.

Technische Änderungen vorbehalten

  • Einfach Systemwartung
  • Optimierter Footprint
  • Kurze Badwechselzeiten
  • DI-Handbrause
  • N2-Pistole
  • Zusätzliche Prozessbecken
  • Dosiersystem
  • H2O2 Spiking
  • Prozessdatenerfassung