Spray Acid Tool SAT

  • Etch
  • Strip
  • Clean
  • Ozone
  • Manuelle oder vollautomatische Beladung
  • 2“-12“ Wafer oder individuelle Substrate
  • 150 mm/200 mm/300 mm ohne Rotorwechsel möglich
  • Individuelle Losgrößen (13, 25, 26, 50, 52, …) sind möglich
  • Bis zu 7 beheizbare Tanks
  • Einkammer- oder Mehrkammer-Konfiguration
  • Inline Überwachung und Dosierung der Prozesschemikalien
  • SECS/GEM Protokoll
  • Standardhorden oder individueller Hordenkäfig als Substrathalter verwendbar

Technische Änderungen vorbehalten

Weitere Informationen auf Anfrage.

  • Inline Monitor zur Konzentrationsüberwachung der Chemikalien
  • Beladungs-Automatisierung
  • Hordenkäfig für automatisierte Beladung und individuelle Losgrößen
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