M-SPIN 200 Spin Coater
- Ausführung Top Table oder Einbaumodul
- 8“ Wafer bzw. 6“x6“ Substrate
- Die Belackungsschleuder dient zum homogenen Belacken und Trocknen von Wafern bzw. Substraten.
- Die M-Spin 200 ist mit einer Verriegelung der Abdeckung, einem vollgrafischen Touch-Panel und dazugehöriger Visualisierung ausgestattet.
Abmessungen - Stand Alone
Technische Änderungen vorbehalten
Abmessungen - Einbaugerät
Technische Änderungen vorbehalten
Technische Daten
- Wafer Größen:
Wafer bis zu 8″
Substrate bis zu 6″x6″ - Schleudertopf:
Material PP - Deckel:
Manueller Deckel überwacht mit Sensor - Drehzahl:
0-6000 U/min, stufenlos einstellbar - Programme:
99 Programme mit je 99 Schritten
Zubehör
- Vakuumpumpe
- Chucks
- Drehzahl bis max. 10.000 U/min
- N2-Spülung
Produktunterlagen
