Reinigen & Ätzen

Reinigen
Reinigen

Reinigen - für saubere Oberflächen

DI-H2O · SC1: NH4OH:H2O:H2O · SC2: HCl:H2O2:H2O · DHF · BOE · Piranha: H2SO4:H2O2 · Acetone · IPA · HCl, HF, HNO3 , NH4F, NH4OH, H2O2, H2SO4 · Hot DI-H2O · Tenside · etc.

RAMGRABER bietet Ihnen Anlagen zur optimalen Waferreinigung. Ob manuell, halb-automatisch oder voll-automatisch – unsere Anlagen für Ihre Reinigungsprozesse entfernen organische und anorganische Verunreinigungen hervorragend.

Einen hohen Durchsatz und Ausführung in der bewährten RAMGRABER Qualität – das dürfen Sie von Anlagen aus unserem Hause erwarten.

Ätzen - für homogene, reproduzierbare Ätzergebnisse

H3PO4:HNO3:H2O · HF:HNO3:CH3COOH · HF:HNO3:H2O · HCl:HNO3 · TiWN · KOH · NaOH · TMAH · SC1 · SC2 · DHF · BOE · HF · Piranha · etc.

Ob als Beckenprozess oder als Sprühätzanlage – RAMGRABER Anlagen für Ätzprozesse aller Art zeichnen sich durch homogene, reproduzierbare Ätzergebnisse bei gleichzeitig geringem Medienverbrauch aus.

Auf Wunsch liefern wir Ihnen die Ätzanlage auch mit den erforderlichen Chemikalienver-/ entsorgungssystemen, so dass Sie mit RAMGRABER einen kompetenten Ansprechpartner für Ihr gesamtes Ätzsystem haben.

Reinigen: Komponenten & Vorteile

Mögliche Optionen

Warenbewegungssysteme vertikal / horizontal / kombiniert
Ultraschall 25kHz / 40 kHz / multiple Frequenzen etc.
Megaschall 1 MHz / Megaschallsprühdüsen etc.
Spülsysteme Überlaufspüle, Quick Dump Rinse, Heiße DI-Wasser Spüle, Kaskadenspüle, Megaschall-Quick Dump Rinse etc.
Sonstiges spray under emmersion, top spray, bewegte Sprühdüsen, N2 Bubbling, pH Wertmessung etc.

Ihre Vorteile

  • hervorragende Entfernung von organischen und anorganischen Verschmutzungen
  • ausgeklügeltes Abluftsystem
  • innovative Medienüberwachung und –steuerung
  • sicherer Badansatz
  • maximale Badstandzeit via spiking / feed&bleed

Ätzen: Optionen & Vorteile

Mögliche Optionen

Voll automatische Prozesskontrolle Anbindung an MES/CAM über SECS/GEM oder kundenspezifische Schnittstelle, logfiles, etc.
Exakter und schneller Transfer < 1 sec.
Hochtemperaturtechnik > 150 °C
Chemiesysteme Versogungs- / Misch- / Entsorgungsstationen
Konfiguration gemäß FM 4910

Ihre Vorteile

  • definierte Ätzrate
  • optimaler Medienfluss
  • Temperature Stabilität
  • ausgeklügeltes Abluftsystem
  • innovative Medienüberwachung und –steuerung
  • sicherer Badansatz
  • maximale Badstandzeit via spiking / feed&bleed

Produktgalerie